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高功率產品
速聯科高功率同軸產品專為半導體/光伏等制造設備提供射頻能量驅動的連接解決方案,包括半導體刻蝕工藝及半導體/光伏的PECVD工藝所需。產品主要應用于干法刻蝕、等離子薄膜、等離子清洗及HIT薄膜等設備中,射頻電源到適配器互連。產品已在各主流廠商大規模使用,同時提供多品種小批量的快速定制交付服務。
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